真空鍍膜設(shè)備的產(chǎn)品特點

日期：2025-10-26 05:39

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摘要：

真空鍍膜設(shè)備，主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。

產(chǎn)品特點

采用箱式結(jié)構(gòu)，真空系統(tǒng)后置，便于操作和維修；整機(jī)表面平整，方便清潔，特別適合放置在凈化間內(nèi)做穿墻式安裝。

設(shè)備真空系統(tǒng)抽速大，具有抽氣時間短，真空度高，生產(chǎn)周期短等優(yōu)點。

采用管狀加熱器上烘烤，烘烤溫度均勻，壽命長，可達(dá)到烘烤溫度350℃，烘烤均勻性270℃±10℃。

工件轉(zhuǎn)動采用上部中心驅(qū)動，軸承帶水冷，磁流體密封，轉(zhuǎn)動平穩(wěn)。

采用石英晶體膜厚控制儀，可實現(xiàn)鍍膜過程的自動控制。

采用鍍膜控制系統(tǒng)，人機(jī)操作界面美觀實用，系統(tǒng)穩(wěn)定，可實現(xiàn)系統(tǒng)的手動、半自動和全自動操作。

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